運用物理氣相沉積方法，在材料表面沉積超硬耐磨涂層是提高材料表面耐磨性的有效方法。超硬耐磨材料的主要特征是具有高熔點和高硬度，如各種過渡族金屬的氮化物、碳化物、氧化物、硼化物和立方氨化硼以及類金剛石等。目前，應(yīng)用較成熟的有TiN, T:C等超硬耐磨涂層。

為了進(jìn)一步提高涂層的耐磨性、各國科技工作者一方面研究復(fù)合耐磨涂層，如TIN+TC.另一方面研究多元涂層，如Ti(CN).本文主要研究多元涂層材料(Ti.Al)N的耐磨性。(n, A1) N呈面心立方結(jié)構(gòu)，其實質(zhì)是面向立方結(jié)構(gòu)TiIN的Ti點陣位置上溶人部分AL原子而形成的新型涂層，但其抗氧化溫度和酎磨性均優(yōu)于TiN涂層-51。本文重點研究了工藝因素對(Ti, A1) N徐層耐磨性的影響及(Ti.A1)N涂層的磨損特征.